視頻測量顯微鏡的分辨率和CCD有哪些關(guān)系
2021-09-07(4815)次瀏覽
視頻測量顯微鏡的分辨率和CCD有哪些關(guān)系
CCD用于寬場(chǎng)成像時(shí),二維成像系統的分辨率不僅與光學(xué)分辨率有關(guān),還與CCD的單個(gè)物理像素大小有關(guān)。光學(xué)橫向分辨率由公式0.61λ/NA計算可知約為200nm,即可分辨的兩個(gè)點(diǎn)橫向空間距離不得小于200nm。假如用100×物鏡,可分辨的兩個(gè)點(diǎn)空間距離則為20μm。用CCD成像,不難理解,若想分辨這兩個(gè)點(diǎn),每個(gè)物理像素不能大于20μm,但實(shí)際情況是由于不能控制兩個(gè)像點(diǎn)投射在靶面的位置,因此一般采用“倍頻”原則,每個(gè)像素大小為對應物鏡光學(xué)分辨率的一半,即選用100倍顯微鏡物鏡下10μm大小的像素就可與光學(xué)分辨率極限匹配。這樣不管像點(diǎn)投射在何處,CCD也可以分辨,原理如圖所示。因此,原則講數碼成像時(shí)單個(gè)物理像素越小,空間分辨率越高,但不能無(wú)限小,否則導致量子效率、滿(mǎn)井容量都會(huì )降低,反而不利于成像,需要一個(gè)合理的折中?! 蝹€(gè)物理像素大小為16μm×16μm,在100×物鏡下只能說(shuō)基本與光學(xué)分辨率匹配。根據“水桶原理”可知,此時(shí)空間分辨率已經(jīng)不再受限于光學(xué)分辨率,而是被單個(gè)物理像素大小所決定。目前市場(chǎng)上的工業(yè)相機單個(gè)物理像素基本都是10um以下的,所以100倍物鏡下,工業(yè)相機分辨率肯定是夠用了?! ×硗庹f(shuō)一句:?jiǎn)渭兊膹娬{工業(yè)相機有多少萬(wàn)像素沒(méi)有意義,跟分辨率沒(méi)有直接關(guān)系,只能說(shuō)在CCD成像面積一定情況下,像素越多,分辨率越高。因此,判斷工業(yè)相機的分辨率好壞最關(guān)鍵指標還是單個(gè)物理像素的大小,此時(shí)像素越多,說(shuō)明獲得空間信息量越大。
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